EFEM（Equipment Front - End Module）设备即设备前端模块。EFEM设备是一种专为晶圆传输设计的系统，是半导体生产设备的重要组成部分。
| Load Port | 2 | |
| 手臂类型 | 双臂式 | |
| 晶圆尺寸 | 尺寸 晶圆翘曲度 厚度 | 200mm/300m 200mm 士0.5mm/300mm 士1.0mm 200mm 500-700μm/300mm 650-700μm |
| 重现精度 | ±0.1mm | |
| 机台尺寸 | 1700mm(W)*1200mm(D)*2000mm(H) | |
| 洁净度 | Clsas10 | |
| 电源 | ~220V/16A | |
| 流量 | 正压300L/min,负压120L/min | |
尺寸多样性
传输效率高
取放片方式多样
兼容性高
