EFEM（Equipment Front - End Module）设备即设备前端模块。EFEM设备是一种专为晶圆传输设计的系统，是半导体生产设备的重要组成部分。
| Load Port | 4 | |
| 手臂类型 | 双臂式 | |
| 晶圆尺寸 | 尺寸 晶圆翘曲度 厚度 | 8-12寸 200/300mm 士1.0mm 200mm 8"厚度500-1000um、12"厚度650-1200um |
| 重现精度 | ±0.1mm | |
| 机台尺寸 | 1400mmx2740mmx2150m | |
| 洁净度 | Class1 @ 0.12u | |
| 电源 | 1 phase.220VAC.25A | |
| 流量 | 正压100L/min，负压50L/min | |
尺寸多样性
传输效率高
取放片方式多样
兼容性高
