晶圆尺寸 200mm/300mm 晶圆翘曲度 ±0.1mm

​最大速度 5 m/s 最大加速度 5 G

抓取精度：±0.1 mm 到 ±1 mm 抓取速度：1-3 件/秒

检测精度：0.01 mm 处理速度：10-30个零件/秒

重现精度：±0.1mm

重现精度：±1 μm 最大负载：1KG

额定电压：AC 220V 50/60HZ 最大功率：600W

垂直度：±2arcsec(X轴与Y轴) 负载：5kg(X轴与Y轴可定制),10kg(Z轴)