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灵活的自动化生产设备组合。提升轴负责提供垂直方向上的线性移动，手臂搭载适配末端实现长行程晶圆及Fop的搬运。
定位精度高
长行程
高响应
安装维护简便
型号：SWEM-4L-02-B-01 重现精度：±0.1mm
型号：SWEM-2L-02-B-01 重现精度：±0.1mm
重现精度：±1 μm 最大负载：1KG
型号：LM-MA-350-350
型号：LM-GY-1000-1000-300 重现精度：±1 μm
023-6890-8881
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