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半导体

以服务“智慧工厂”为核心，提供创新、智能、精密解决方案，聚焦设备升级，实现自主感知与预测维护。与产业链合作，推动“灯塔工厂”发展，为全球半导体产业转型升级注入动力。

型号：SWEM-4L-02-B-01 重现精度：±0.1mm

EFEM

直线电机平台

型号：LM-GY-1000-1000-300 重现精度：±1 μm

直线电机平台

EFEM

型号：SWEM-4L-02-B-01 重现精度：±0.1mm

EFEM

型号：SWEM-2L-02-B-01 重现精度：±0.1mm

倒片机

晶圆尺寸 200mm/300mm 晶圆翘曲度 ±0.1mm

横移轴+晶圆手臂

横移轴+晶圆手臂

重现精度：±1 μm 最大负载：1KG

提升轴

z轴重复精度：±0.05mm

直线电机平台

直线电机平台

型号：LM-GY-800-400-200

直线电机平台

直线电机平台

型号：LM-MA-350-350

直线电机平台

直线电机平台

型号：LM-GY-1000-1000-300 重现精度：±1 μm

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