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横移轴+晶圆手臂

横移轴+晶圆手臂

产品介绍：

灵活的自动化生产设备组合。横移轴负责提供水平方向上的线性移动，手臂搭载适配末端实现长行程晶圆及Fop的搬运。

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产品参数

横移轴产品参数
最大速度	5 m/s
最大加速度	5 G
行程	100~2700 mm
横移移动精度	±1 μm

晶圆手臂产品参数
臂长	135~185mm
重复定位精度	±0.1mm
Z轴行程	300~500mm

产品优势

横移轴+晶圆手臂产品优势

01

安装简便

安装简便，且拥有快速精准定位功能

02

长行程

长行程、多动子

03

高响应

高响应、高精度、低磨耗等优势

04

高支持

支持碰撞检测、拖动示教、硬急停、调试/在线升级(USB口)

应用场景

晶圆清洗设备

晶圆退火设备

晶圆封装设备

晶圆蚀刻设备

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