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直线电机平台

直线电机平台

产品介绍：

直线电机平台广泛应用于半导体、自动化等领域。具备定位精度高，运行平稳快速，维护简便且寿命长，满足多种场景的精密传动需求。

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产品参数

指标	X轴	Y轴	Z轴
有效行程	200mm	400mm	100mm
重复定位精度	±1um	±1um	±1um
绝对定位精度	±2um	±2um	±2um
θ旋转轴	±2.5 arc-sec
备注	可据需求定制设计

产品优势

直线电机平台产品优势

01

定位精度高

重复定位精度可达微米级，精准满足对位置精度要求严苛的场景。

02

运动速度快

采用 “直接驱动” 技术动力传输更直接高效

03

负载能力灵活

提供多规格直线电机模组可选灵活匹配负载需求。

04

适配性强

兼容多种控制系统，在半导体、光伏、精密机床、3C 自动化等多行业均可快速集成应用。

应用场景

晶圆缺陷检测

晶圆宏观检测

基板检测

CD量测

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